全自動車間噴霧加濕器能將車間相對濕度控制在40%至60%的范圍，全自動車間噴霧加濕器實現了全自動進水和濕度控制，無需人員操作，同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

    能將濕度控制在一個相較的濕度，面高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。

    當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。

     原理
    很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室、潔凈棚周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進一步的氧化反應；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高濕度的環境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

    總而言之半導體無塵車間、潔凈室中控制相對濕度不是隨意的。但是，隨著時間的變化，回顧一下常見的被普遍接受的實踐的原因和基礎。