硅片厚度測試儀 SIT-200

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公司名稱北京波威科技有限公司
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廠商性質其他
更新時間2021/8/20 12:55:09
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北京波威科技有限公司坐落于北京海淀中關村高科技園區，是一家集生產、研發、銷售及代理為一體的光電領域的高科技技術服務公司。產品涉及激光、光電子、光通訊、光學、物理、電子和生物等多個學科領域，可廣泛應用于教學、科研、產品開發及規模生產。業務范圍覆蓋了國內各大所屬各研究所、航天科工/科技集團所屬研究所、中電集團所屬研究所、所屬各研究所等不同系統內的研究機構及相關領域內的高科技公司。波威公司始終堅持高起點，高要求，與一線生產廠商攜手，做到產品在技術上秉承嚴謹的科學態度，務實的工作作風，誠實的經營理念，與廣大客戶攜手共創美好明天! 我們的產品有：固體激光器、半導體激光器、可調諧激光器、光纖激光器、窄線寬激光器、激光測量儀器與配件、太赫茲、高速光電探測器、紫外探測器、紅外探測器、超快探測器、焦平面陣列探測器、科學相機、光譜儀、高光譜成像系統、光束質量分析儀、空間光調制器、聲光調制器、電光調制器、高速光開關、光發大器、光衰減器、可調諧濾波器、波長轉換器、高溫光纖、紅外光纖、能量光纖、微波放大器、微波元器件、光學透鏡等光電類產品。

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產品介紹：波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量，從而實現高動態范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器之后由PD檢

硅片厚度測試儀 SIT-200 產品信息

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產品介紹：

波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。基于高速波長掃描的激光器可以實現每波長更高功率的測量，從而實現高動態范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標表面和背面的反射形成的干涉圖案。

產品特點：

l 用于硅晶圓的全光學，非接觸式厚度傳感器

l 高動態范圍，能夠測量無序表面

l 能夠在濕法蝕刻期間進行原位測量

產品應用：

l 硅片厚度測量

產品參數：

主要技術指標		硅片厚度測試傳感器（SIT-200）
主要技術指標		SIT-200
測試功能	-	硅片厚度
厚度測試范圍	um	10~500（n=3.5）
激光器	nm	波長掃描激光器，1515nm-1585nm
光輸出功率	mW	0.6（Class 1）
引導光源（基準光源）	-	RED LD，Laser class 1M
測試時間	ms	≥20
重復率	um	＜0.1（3σ）
監控輸出	-	干擾信號（電信號）
程控接口	-	Ethernet（網口）
電源	-	AC100-240V（50/60Hz）
尺寸（WxHxD）	mm	364x147x391
重量	Kg	9.0
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