主要特點
該設備是由1200度開啟式管式爐、精密的質量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導
體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。
加熱區參數
| Z高溫度：1200℃ 工作溫度：1100℃ Z大升降溫速率：≤30℃/min 控溫精度:±1℃ 推薦升溫速度：15℃/min 爐管尺寸：高純度石英管Φx1000mm (管徑可選) 加熱區長度：440mm 恒溫區長度：230mm 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 標準配件：石英管1支，莫來石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 尺寸：約 590×380×500 mm（爐子） 工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 額定功率：3kw 可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。 |
氣路系統參數
| 質量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa Z大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。 |
低真空系統參數
| 國產油泵型號：BSV-10 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管：ZJ-52T電阻規， 2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
高真空系統參數
| 空氣相對濕度：≤85% 工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系統整體極限真空度：10-5Pa 實驗真空度：10-3Pa 機械泵: 抽氣速率：10m3/h 容油量：1.1L 電機功率：0.4KW 極限壓強：6×10-2Pa 分子泵: 抽氣速率：100L/S 極限壓強：6×10-6Pa 啟動時間：＜2min 額定轉速：4300轉/分 冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時，水冷。 分子泵控制器: 電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ Z大輸出功率：≤150W Z大加速電壓：≤40V 加速時間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 復合真空計: 測量路數：2路（電阻規、電離規各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數 規管型號：ZJ-52T電阻規 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 規管型號：ZJ-27電離規 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式：焦耳去氣 其他參數 控制路數：4路 控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% 連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s |
備注： |
根據工藝要求可選配低真空或高真空系統。
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