SIC涂層MOCVD外延片石墨托盤
我公司擁有多名日本專家、博士工程師及*經營管理團隊，擁有專業從事碳化硅涂層以及對石墨產品進行高溫純化除雜技術。公司產品及技術廣泛應用于半導體行業，LED行業，航天航業，化工行業，光伏行業，包裝行業，耐腐蝕行業、冶金行業等領域。
公司通過引進國外的CVD法碳化硅涂層及高溫純化裝置與技術，根據客戶需要為不同形狀，不同結構和大小的石墨件純化除雜，純化后的石墨雜質可降至小于5PPM,并采用高溫化學氣相沉積法沉積厚度的碳化硅涂層。
相比以往的工藝，CVD法生產的碳化硅晶體結構致密，晶格排列整齊，與沉底材料結合更緊密等優勢。具有耐高溫，耐磨損，耐腐蝕，易導熱的特點，憑借這些涂層，我們的產品被廣泛應用于制作流化床和熱氫化的反應器部件，CZ直拉單晶爐的導流筒部件，以及硅外延和GaN外延的托盤。
產品指標：
ü 材料：進口等靜壓高純石墨
ü 純度：小于5ppm
ü SIC涂層厚度：120µm±30µm(涂層厚度可根據客戶要求定制)
ü 涂層表面粗糙度：6-8µm
ü 涂層后基座電阻率：0.0004-0.00045Microhm-m
ü 高均勻度和優異的熱傳導性
ü 耐電漿轟擊
ü 均溫性
ü 高耐腐蝕性和穩定性
ü 理想的電阻特性
ü 使用壽命長
應用領域：
ü LED芯片產業MOCVD外延片承載石墨托盤
ü ICP蝕刻制程用之承載盤
ü 硅外延及GaN外延等各Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體半導體材料外延托盤
合能陽光
ü 提供各種規格碳化硅涂層石墨制品：承載盤，預熱環，篩盤，頂針等相關制品
ü 可接受根據圖紙定制加工業務
ü 質量穩定，交貨期短
主要客戶：
國內半導體芯片企業、LED光電企業等
北京合能陽光新能源技術有限公司（以下簡稱“合能陽光”）總部位于北京通州工業開發區，公司主導產品涉及半導體及光伏行業的檢測儀器、工藝和耗材領域，是集研發、生產、銷售、服務及對外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務的客戶來自于國內企業，如賽維LDK、保利協鑫、比亞迪、中電集團、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團、Pro-Q、光為、國電集團、京運通、七星華創、新天源、超日、*、中國表面物理與化學研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導體和太陽能單位。
公司現有員工34人，大專本科以上學歷25人，研究生６人，博士１人，建筑面積3000m２。
近年來，公司的海外市場發展勢頭良好，產品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區，目前公司在和海外同行建立產品加工合作關系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測儀器和產業耗材
SIC涂層MOCVD外延片石墨托盤 產品信息
關鍵詞：芯片
