結合豐富的晶體生長經驗及光學、機械、電子等領域的專業經驗，我公司研發了用于晶體生長的感應加熱爐。

感應加熱爐

參數

控制器控制提升機構的提升速度、提升行程和速度

1.提升速度：0.2-10mm/h

2.提升行程：0-500mm

3轉速：0.5-40rpm

感應參數：

1.工作電壓：380V AC，50/60Hz，三相

2.輸出電流：42a（需要100a空氣開關）

3.輸入電流：25 kW

4.振蕩頻率：30-80 kHz

5.循環率：80%

6.感應線圈：外徑150mm x內徑140mm x高90mm

7.保護：配備水壓、超溫、超功率保護

溫度控制參數：

工作電壓；208~240V交流，單相

采用PID溫度控制，可設置30個溫升和溫降程序

設置超溫和電偶斷開保護

溫度控制精度：+/-3oC

采用C型熱電偶，探頭伸入石墨坩堝內

連續工作溫度：1000oC~2000oC

加熱速率：10oC/S（1000oC-1200oC）8oC/S（1200oC~1500oC）

爐體尺寸：內徑為400mm，高度為700mm

密封法蘭

頂部法蘭：不銹鋼折疊法蘭，帶1/4“鎧裝接口（可插入熱電偶），安裝有頂閥

底部法蘭：底部法蘭接口為kf25接口，可通過波紋與真空泵連接

定制：可根據客戶需求定制選擇。

中科瑞晶(杭州)科技有限公司/上海光學精密機械研究所的高級工程師、工學碩士、博士可以為公司、學校、科研院所提供高溫爐設計方案。