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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

單工位減薄機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)DL-GD3002A
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/10/2 13:46:51
  • 訪問次數(shù)191
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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司成立于2021年,是經(jīng)深交所主板上市公司長(zhǎng)盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與新能源產(chǎn)業(yè)的智能裝備制造企業(yè),公司主要專業(yè)從事全自動(dòng)高精密晶圓減薄機(jī)、高精密晶圓拋光機(jī)、全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓上蠟機(jī)等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)包括但不限于太陽(yáng)能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時(shí),公司也提供技術(shù)支持和售后服務(wù),以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業(yè),深圳夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備注重技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),可以根據(jù)市場(chǎng)需求和客戶需求進(jìn)行定制化開發(fā)。同時(shí),公司也擁有生產(chǎn)設(shè)備和完善的品質(zhì)管理體系,確保每一臺(tái)設(shè)備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中,深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動(dòng)晶圓減薄機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓倒角機(jī)、CMP拋光機(jī)
單工位減薄機(jī)是單主軸、單工作臺(tái),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊的精密研削減薄機(jī)。適用于Φ300mm以下的硅晶圓、碳化硅、藍(lán)寶石、陶瓷、光學(xué)玻璃等硬脆性材料的精密研磨。
單工位減薄機(jī) 產(chǎn)品信息
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 本機(jī)器采用晶圓自旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉(zhuǎn)臺(tái),工件通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺(tái)的中心,磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置,工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入減薄。砂輪與工件的接觸長(zhǎng)度、接觸面積、切入角不變,研磨力恒定,加工狀態(tài)穩(wěn)定,可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對(duì)較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。


◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu),定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒有機(jī)械軸承的摩擦力,磨損程度降到了,從而確保精度始終保持穩(wěn)定。


◎ 氣浮軸承阻力較低,允許較高的速度,并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。


◎ 氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng),使得表面光度達(dá)到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的,轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來自外負(fù)載的作用力,在其旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。

性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-GD3002A
晶圓尺寸in?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'')
研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.9
額定轉(zhuǎn)速RPM4000
磨削精度片間厚度變化
um≤±3
TTVum≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1150x1260x1950
設(shè)備重量KG約1600
15700106413
產(chǎn)品對(duì)比
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