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瑞士高分辨深紫外光刻機

參考價	￥ 20
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京中科復華科技有限公司
品牌其他品牌
型號PhableR
所在地北京市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2025/5/13 9:38:44
訪問次數(shù)165

產(chǎn)品標簽:

高分辨深紫外光刻機光刻

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務。

展開顯示更多內(nèi)容

電子束曝光系統(tǒng)，刻蝕設備，鍍膜設備，光刻機，半導體工藝設備

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	進口

PHABLE設備基于Eulitha采用的位移塔爾博特光刻(DTL)技術，通過低成本的光刻系統(tǒng)提供高分辨率光刻。DTL克服了傳統(tǒng)光刻中衍射的局限性，可曝光出質(zhì)量優(yōu)異的亞微米周期圖案。非接觸式曝光可同時保護掩模版和晶圓，無聚焦成像技術可實現(xiàn)在非平面基材和厚光刻膠上進行均勻曝光。

瑞士高分辨深紫外光刻機產(chǎn)品信息

PhableR具備以低成本光刻系統(tǒng)曝光高分辨率周期性結(jié)構的能力。它類似于傳統(tǒng)的紫外曝光機，將涂有光刻膠的晶圓接近掩模版，然后用一束紫外深紫外光照射。由于Eulitha的突破性PHABLE曝光技術，分辨率不再受到不希望出現(xiàn)的衍射效應的限制。如亞微米周期線性光柵和二維圖案等結(jié)構(如六方和四方晶格曝光)，均具有高均勻性和保真度。

PhableR 100 DUV光刻機是一款針對科研和研發(fā)的基礎手動機臺。對于納米周期性結(jié)構，不需要復雜的工藝過程或經(jīng)驗，就可以制作大面積，均勻性和重復性好的一維、二維光柵結(jié)構。有關設備和服務的一些特點：

1. 設備操作簡單

2. 與前后道工藝和配套設備兼容性性好

應用廣泛，包括: