美國Tousimis Autosamdri-931 Cleanroom系列
觸屏全自動臨界點干燥儀
該系列為臺式臨界點干燥儀，可在超凈間工作，有3個型號可選：
1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圓臨界點干燥
2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超過2"的晶圓臨界點干燥
3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超過3"的晶圓臨界點干燥
臨界點干燥原理
之所以稱為臨界點干燥（又稱超臨界干燥），因為它存在狀態(tài)的連續(xù)性，即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無明顯的區(qū)別，分界面的表面應力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力，被稱為臨界點。零表面應力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品，避免了表面應力對試樣的損壞。
我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時經(jīng)常需要進行脫水處理（梯度脫水），但水的臨界點為+374℃及3212 psi，很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點干燥介質(zhì)為CO2，它的臨界點在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合，因而必須用第三種介質(zhì)，通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過渡液體，即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時，在臨界點無表面應力對樣品的破壞。
特點和優(yōu)點
?防靜電設計，適合潔凈室材料制造應用
?明亮的觸摸屏控制
?默認“自動模式”設置，適用于大多數(shù)晶圓和裸片MEMS應用
?每次可處理多達 5片基板（晶圓或裸片）
?創(chuàng)建和存貯用戶自定義程序，用于不同樣品
?“慢充”功能可保護大部分脆弱樣品
?快速冷卻腔室(1到3分鐘內(nèi)從25°C冷卻至3°C)
?采用免維護渦流旋動法進行置換攪拌，無需攪拌棒
?外部可更換的0.5µm置換后過濾器，便于維護
?配備耐氟樣品架，可選不同腔室分別用于干燥3" 、 2"直徑的晶圓或邊長為10mm的方形裸片
?對于外部鋼瓶供應的液態(tài)CO2進行顆粒過濾，截留率為99.5%以上
?內(nèi)部過濾可將過濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上
?內(nèi)置冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機體靜電，整個過程無噪聲
?"Stasis軟件" ，干燥凝膠和其它復雜樣品
主要技術(shù)規(guī)格
? 工作腔室尺寸：有三種腔室直徑可供選擇 1.25"、2.50" 、3.40"
? 壓力測量范圍：0-2000psi.
? 溫度測量范圍：-30°C to 60°C
? 控制方式：觸摸屏全自動程序控制
常規(guī)配置
? 柔性高壓液態(tài) CO2 供應軟管，便于現(xiàn)場安裝
? 液體 CO2系統(tǒng)輸送過濾
? 耐氟樣品架：基于不同尺寸腔室分別用于干燥3"、2"的晶圓或邊長為10mm的方形裸片
? 柔性排氣管易于安裝
? 備用腔室 O 形圈、腔室燈和保險絲
注：美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區(qū)代理。Tousimis臨界點干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；
非潔凈室版本共有7款CPD：
1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點干燥儀
2）Samdri®-795半自動臨界點干燥儀
3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界點干燥儀
4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD：
1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界點干燥儀For Die & 1”Wafers
2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動臨界點干燥儀
7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀
8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動臨界點`干燥儀
9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀
美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品，凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復雜樣品，以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓（樣品尺寸8英寸，一次同時干燥5片）等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品，是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導體等材料樣品干燥制樣的有效方法；具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復等特點。客戶可基于不同的應用選擇不同的型號。
