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硅片表面形貌測(cè)量

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產(chǎn)品描述：硅片表面形貌測(cè)量,材料表面形貌分析

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硅片表面形貌測(cè)量VIT系列

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-Copper Nail Height
-Bump Height and Cu pillar height
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3DIC TSV and BWS TTV硅片表面形貌測(cè)量
Film Stress薄膜應(yīng)力量測(cè)儀
FEOL Electrical Characterization 電學(xué)特性
Thin wafer metrology 晶圓測(cè)量學(xué)
Film Adhesion漆膜附著力測(cè)試NEW: Virtual Interface Technology for 3D-IC Metrology:
-TSV profile (depth, bottom CD, tilt, SWA)
-Residue Detection
-RST
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-Bump Height and Cu pillar height

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