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TAKAOKA TOKO WVI-5020拼板基板凸點(diǎn)檢查裝置

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2024-06-11 08:51:20瀏覽次數(shù):76次

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WVI-5020拼板基板(SAW濾波器、SIP、WL-CSP)凸點(diǎn)檢查裝置概要:WVI系列能夠高速·高精度計(jì)測(cè)封裝在數(shù)百枚拼在一起的基板/晶圓/晶圓環(huán)上面的凸點(diǎn)的高度、直徑、平坦度的裝置(多層堆積專用盒供給/收納)

詳細(xì)介紹

WVI-5020拼板基板(SAW濾波器、SIP、WL-CSP)凸點(diǎn)檢查裝置概要:

WVI系列能夠高速·高精度計(jì)測(cè)封裝在數(shù)百枚拼在一起的基板/晶圓/晶圓環(huán)上面的凸點(diǎn)的高度、直徑、平坦度的裝置(多層堆積專用盒供給/收納)。

可以根據(jù)客戶的要求追加2D檢查,NG處理,Review功能


WVI-5020凸點(diǎn)檢查裝置的規(guī)格參數(shù)


主要檢查項(xiàng)目

Main inspection item

Bump Height

Bump Coplanarity

Bump Diameter

有效視野范圍

FOV

6.0mm x 6.0mm

處理速度

Throughput

Within 3minutes for 

100mm size substrate

Z計(jì)測(cè)范圍

Range

240μm

XY分辨率

Resolution

6.2μm

凸點(diǎn)直徑

Bump diameter

≧60μm

凸點(diǎn)pitch

Bump pitch

≧100μm

計(jì)測(cè)重復(fù)精度(高度)

Accuracy in height

3σ ave.≦1μm

裝置尺寸

Dimension

(W)1,600mm x(D)1,200mm x(H)1,980mm




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