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5軸機械臂5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂

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更新時間：2024-06-11 09:51:39瀏覽次數(shù)：135次

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產(chǎn)品簡介

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂特點：可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能適用于300mm半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部

詳細介紹

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂特點：

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能

適用于300mm半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm

機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）

雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機

通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指

5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達距離	553mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸行程	300mm / 400mm / 500mm
可搬運質(zhì)量	4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)