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3軸機械臂小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 08:15:17瀏覽次數:77次

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產品簡介

小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點:超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列適用于半導體生產設備內部

詳細介紹

小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點: 


超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列

適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,

有利于實現設備的小型化

機械手臂標準臂長:90mm

同SSCR2090S-PM兼容,連桿式手臂,可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸使用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式:真空吸附式,下托式

手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指


小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣環境

手臂

單臂

到達距離

175mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

150mm

可搬運質量

0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準)




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