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成都太科光電技術有限責任公司
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INF800-LP-WM激光平面數字干涉儀產品型號：INF800-LP-WM成像質量良好 臥式結構，雙端口測量操作方便，使用簡單波長調諧相移解相分析系統
1、雙端口檢測；
2、大口徑元件面形檢測；
3、光學材料均勻性測量；
4、平行平板元件多表面測試；
5、元件面形分析，光學數據處理。
序號 | 指標名稱 | 指標參數 |
1 | 測試結構 | 臥式雙端口； |
2 | 測試口徑 | 大端口：通光口徑≥φ815mm，有效口徑≥φ800mm; 小端口: 通光口徑≥φ102mm，有效口徑≥φ100mm； |
3 | 相移方式 | QPS波長調諧相移解相； |
4 | 測試光源 | 波長調諧相干光源，λ=632.8nm，相干長度≥100m； |
5 | CCD指標 | 分辨率≥2.3K×2.3K，幀率≥50Hz； |
6 | φ800mm標準楔形鏡（TF鏡） | 標準面面形：PVr優于λ/12，中頻誤差PSD1小于0.9nm，進口熔石英材料； |
7 | φ800mm標準反射鏡（RF鏡） | 標準反射面面形：PVr優于λ/12，中頻誤差PSD1小于0.9nm，進口微晶材料； |
8 | 系統傳遞函數 | ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ800mm大端口系統）； |
9 | 系統精度 | 系統精度：系統空腔精度PVr優于λ/10，中頻誤差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口徑內）； |
10 | 系統重復性精度 | 系統重復性精度：系統RMS重復性優于0.63nm，λ/1000（2σ）； |
11 | 調焦范圍 | 光瞳調焦范圍≥±2.5m； |
12 | ZOOM變焦 | ZOOM變焦：1X光學變焦，50X數字變焦； |
13 | 測試對準方式與角度 | 測試對準方式與角度：快對準與精密對準方式，對準角度≥±15°/±3°； |
14 | 波長調諧相移分析軟件 | 輸出峰谷值（PV）、標準偏差（RMS）、等高圖、X-Y剖面圖、三維立體圖、干涉條紋圖、MTF(光學傳遞函數)、PSF(點擴散函數)，澤爾尼科多項式分析、賽德爾相差分析等； 分析軟件可進行矩形、橢圓、正方形、圓、多邊形等數據分析功能； 平行平板類元件測試功能（樣品無需特殊處理），一次干涉條紋數據采集可同時得到，平行平板前表面面形、后表面面形，光學厚度變化； 具有材料均勻性測試分析功能； |
15 | 標準反射鏡支撐調節 | 二維手動與電控角度調節，整體結構氣浮大范圍移動； |
16 | 測試工裝 | 兩維角度調節，一維平移調節，大范圍氣浮調節； |
17 | 氣浮隔振平臺 | 進口TMC氣浮L形隔振平臺， 尺寸≤3500mm1500mm+1500mm×3000mm。 |
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