ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線，根據Bragg定律，通過測定角度，即可獲得待測元素的譜線波長：nλ=2dsinaθ （n=1,2,3…）式中 ，λ為分析譜線波長；d為晶體的晶格間距；θ為衍射角；n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角，利用上式可以計算相應被分析元素的波長，從而獲得待測元素的特征信息。
使用ROHS檢測儀需要注意的事項有：
1、表面與外殼的清潔。儀器可用微濕的抹布進行表面清潔，不可用堿性或酸性清潔劑，應使用中性清潔劑；
2、嚴禁非專門人員操作該儀器,操作時必須按照操作步驟進行，任何錯誤的操作,均會導致儀器的測試結果及使用壽命；
3、設備合理的工作環境，要求在沒有電機、振動、電磁、高壓或有高頻率電焊器等電磁干擾的地方安裝，否則會干擾設備的譜形或造成設備不能正常工作；
4、內部與探測器的清潔，在清潔過程中，必須注意不要將異物掉入測試窗口中，測試窗口應該保持清潔，同時不能使用硬物接觸測試窗口內，防止損傷探測器窗口和X光管窗口。
5、儀器在運作狀態，勿打開儀器的防護蓋或勿將測試儀器對準人體；
6、該儀器會產生電離輻射,在測試時確保不要將儀器對著人。
