ROHS檢測儀主要采用X射線英光光譜儀(XRF)技術進行檢測，該技術又可分為能量色散型(EDXRF)和波長色散型(WDXRF)。其中，能量色散型因其技術原理及結構相對簡單，在市場上較為常見。其技術原理簡述如下：
放射性同位素源或X射線發生器：放出的X射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。
特征X射線：當外層電子補充內層電子時，會放射出該原子所固有能量的X射線，即特征X射線。
定性與定量分析：不同元素特征X射線能量各不相同，依此進行定性分析；再根據特征X射線強度大小進行定量分析。
ROHS檢測儀作為遵循歐盟ROHS測試標準的檢測儀器，在保障產品質量、控制有害物質含量方面發揮著重要作用。儀器廣泛應用于各種需要控制有害物質含量的行業，包括但不限于：
海關、質檢局及第三方測試機構的QA檢驗。
電子制造業(如計算機、電話機、相機、手機等)的QC、IQC、IPOC、QA檢驗。
玩具、游戲機、文體設備等制造業的質量控制。
家具、油漆、涂裝等制造業的質量控制。
大型及小型家用電器制造業的質量控制。
紡織品、皮革、食品等制造業的質量控制。
