中科院“微納結構與器件的激光加工與表征平臺”通過驗收

【資料簡介】

 中科院“微納結構與器件的激光加工與表征平臺”通過驗收

由中科院修購專款資助的電工所“微納結構及器件的激光加工與表征平臺”順利通過院修購專項辦公室驗收。該平臺由加工儀器設備和檢測儀器設備兩大部分組成，可以對材料的表面形貌、表面物性、內部微結構等多個領域進行分析和檢測，并可用于納米級精密測量。

　　其中，用于表面形貌分析和檢測、以及物性分析的原子力顯微鏡掃描范圍達到90μm×90μm×10μm，噪聲水平小于0.3A，分辨率達原子級；用于納米級精密測量的激光干涉儀測量系統線性測長為0-40meters、激光頭頻率穩定性為±0.05ppm、分辨率達到0.038nm；用于全方面粘度測試的粘度測試系統不僅能夠控制剪切力和剪切率等影響因素，而且能夠處理NEWTON、 OSTWALD、 BINGHAM、 STEIGER-ORI、 CASSON、HERSCHEL –BULKLEY等各種數學模型的數據；此外，掃描式激光多普勒測振儀可以測量高頻微小樣品（微米級）振動和遠距離物體表面振動；X射線能譜儀可以分析介于Be4-U92之間的元素，能量分辨率（Mn-Ka）優于129eV；紅外熱像儀能夠能夠對高溫熱源進行非接觸式的溫度分布變化動態檢測和分析，在線監測被測對象溫度的變化；以及微電池測試系統和安捷倫網絡分析儀。

　　該平臺已于今年2月開始對外進行測試服務，其中原子力顯微鏡、電制冷能譜儀兩臺設備已經加入*儀器設備共享管理平臺。

　　微納結構激光加工與器件光電特性測試平臺的建成將大幅度提升電工所在材料研究領域的分析測試能力，為新能源利用、太陽能電池、太陽能發電、超導材料、生物電磁學、微納米加工、電機與電力電子及電氣驅動、應用超導技術等前沿領域的研發提供必要的檢測手段。作為結合納米器件激光制備與光電特性評價的綜合性基礎科學研究與高技術發展平臺，該平臺的部分功能與指標達到水平。

 中科院“微納結構與器件的激光加工與表征平臺”通過驗收