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廣電計量檢測集團股份有限公司

單面拋光機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市夢啟半導體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號DL-855/4P-
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/10/2 13:39:17
  • 訪問次數516
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深圳市夢啟半導體裝備有限公司成立于2021年,是經深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導體產業與新能源產業的智能裝備制造企業,公司主要專業從事全自動高精密晶圓減薄機、高精密晶圓拋光機、全自動高精密晶圓倒角機、晶圓研磨機、晶圓上蠟機等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產品的研發、生產和銷售。


產品廣泛應用于半導體產業和新能源產業包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時,公司也提供技術支持和售后服務,以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業,深圳夢啟半導體裝備注重技術創新和產品質量。公司擁有一支專業的研發團隊,可以根據市場需求和客戶需求進行定制化開發。同時,公司也擁有生產設備和完善的品質管理體系,確保每一臺設備都符合客戶的期望和要求。在未來的發展中,深圳市夢啟半導體裝備有限公司將繼續致力于技術創新和產品質量提升,為客戶提供更優質、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動晶圓減薄機、晶圓研磨機、晶圓倒角機、CMP拋光機
單面拋光機是單面精密拋光設備,采用的機械結構和多種控制方法,拋光加工效率高,運行穩定。
單面拋光機 產品信息
設備優勢

◎ 本設備為單面精密拋光設備,采用的機械結構和多種控制方法,拋光加工效率高,運行穩定。


◎ 整機采用PLC+觸摸屏控制系統,設備參數設置和操作簡單方便,系統運行穩定性高。


◎ 主電機采用變頻調速控制,實現主機軟啟動、軟停機降低設備運行沖擊,減少工件損傷。


◎ 工件拋光壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環控制,保證的施壓精度與穩定性。


◎ 上壓盤采用主動驅動方式,在確保產品撤光速率的前提下保證各工位拋光加工的統一性。


◎ 拋光盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發揮效率的同時減少拋光盤面的變形。

性能參數
參數名稱單位DL-855/4P-CMP
主電源V三相 380
主電機功率KW15
主電機轉速RPM0~85
上盤驅動電機轉速RPM0~70
拋光盤尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盤尺寸
mmΦ305x15
單工位壓力Kg20~300
拋光液流速L/min15(可調)
主盤溫度檢測±5
設備尺寸(W x D x H)mm1200x1650x2250
設備重量Kg約2450
15700106413
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